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发明名称
ETCHING METHOD AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH0547716(A)
申请公布日期
1993.02.26
申请号
JP19910198085
申请日期
1991.08.07
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
IKEGAMI NAOKATSU
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
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