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经营范围
发明名称
VACUUM ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE
摘要
申请公布号
JPH0547352(A)
申请公布日期
1993.02.26
申请号
JP19910230988
申请日期
1991.08.19
申请人
MITSUBISHI HEAVY IND LTD
发明人
SAKAMOTO HITOSHI
分类号
G02B6/00;H01J61/68;H05H1/24
主分类号
G02B6/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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