| 发明名称 |
THIN FILM FORMING METHOD, AND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0547707(A) |
申请公布日期 |
1993.02.26 |
| 申请号 |
JP19910271024 |
申请日期 |
1991.10.18 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
AKAHORI TAKASHI;TANIHARA SATOSHI |
| 分类号 |
C23C16/34;C23C16/511;C30B25/02;C30B29/38;H01L21/28;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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