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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0547761(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910226577 申请日期 1991.08.12
申请人 NEC CORP 发明人 KATO HIROSHI
分类号 C23C16/50;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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