VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN VON EINKRISTALLEN NACH DEM CZOCHRALSKI-VERFAHREN.,申请号DE19863686570T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN VON EINKRISTALLEN NACH DEM CZOCHRALSKI-VERFAHREN.
摘要
申请公布号	DE3686570(T2)	申请公布日期	1993.02.25
申请号	DE19863686570T	申请日期	1986.12.10
申请人	SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	YAMAGISHI, HIROTOSHI, 3-11-20, ISOBE, ANNAKA-SHI GUNMA-KEN, JP;FUSEGAWA, IZUMI, GUNMA-KEN, JP;YOKOTA, SHUJI, FUKUSHIMA-KEN, JP;HATTORI, JUNICHI, USUI-GUN, GUNMA-KEN, JP;KARASAWA, YUKIO;ABE, TAKAO, GUNMA-KEN, JP
分类号	C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/14	主分类号	C30B15/00
代理机构		代理人
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