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发明名称 PHOTOVOLTAISCHE DUENNFILMVORRICHTUNG.
摘要
申请公布号 DE3686605(T2) 申请公布日期 1993.02.25
申请号 DE19863686605T 申请日期 1986.06.04
申请人 SIEMENS SOLAR INDUSTRIES L.P., CAMARILLO, CALIF., US 发明人 WIETING, ROBERT D., SIMI VALLEY CALIFORNIA, US;POTTER, RICHARD R., CHATSWORTH CALIFORNIA, US
分类号 H01L31/04;C23C28/00;H01L31/0336;H01L31/18;H01L51/42;(IPC1-7):H01L31/02;H01L31/06 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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