| 发明名称 |
FREMGANGSMAATE OG ANORDNING FOR AA FJERNE SKADE LIKE UNDER OVERFLATEN I HALVLEDERMATERIALER VED HJELP AV PLASMAETSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NO930680(D0) |
申请公布日期 |
1993.02.25 |
| 申请号 |
NO19930000680 |
申请日期 |
1993.02.25 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
ZAROWIN, CHARLES B.;BOLLINGER, L. DAVID |
| 分类号 |
H01L21/302;H01J37/32;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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