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发明名称 METHOD OF FOCUSING OPTICAL HEAD ON OBJECT BODY AND AUTOMATIC FOCUSING DEVICE FOR OPTICAL INSPECTION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0453946(A3) 申请公布日期 1993.02.24
申请号 EP19910106164 申请日期 1991.04.17
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 FUJIWARA, NARIAKI, DAINIPPON SCREEN MFG. CO. LTD;HORIE, MASAHIRO, DAINIPPON SCREEN MFG. CO. LTD
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/95;G02B7/32;G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G01N21/55;G01N21/84;H01L21/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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