| 发明名称 |
COPPER ETCH PROCESS USING HALIDES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0433983(A3) |
申请公布日期 |
1993.02.24 |
| 申请号 |
EP19900124588 |
申请日期 |
1990.12.18 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
DOUGLAS, MONTE A. |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/02;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;H05K3/06;(IPC1-7):H05K3/06 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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