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发明名称 DEFECT INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0545303(A) 申请公布日期 1993.02.23
申请号 JP19910238876 申请日期 1991.08.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 IWAMOTO AKITO;SEKIZAWA HIDEKAZU
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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