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发明名称 Method for forming a nitride layer using preheated ammonia
摘要
申请公布号 US5188979(A) 申请公布日期 1993.02.23
申请号 US19910749820 申请日期 1991.08.26
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 FILIPIAK, STANLEY M.
分类号 C23C8/24;H01L21/285;H01L21/318;H01L21/321;H01L21/768 主分类号 C23C8/24
代理机构 代理人
主权项
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