发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DIAGNOSING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0545424(A) 申请公布日期 1993.02.23
申请号 JP19910335921 申请日期 1991.11.27
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 JIYOOJI TEII HAABEI;MAIKERU ESU HIYUUMEEKAA;MAAKU JII KUJIKU;KENESU DEBUITSUDO SHINGAA
分类号 G01R19/00;G01R31/302;G01R31/308;G02F1/15;H01L21/66;H01S3/107 主分类号 G01R19/00
代理机构 代理人
主权项
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