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发明名称 ION SOURCE HAVING A MASS SEPARATION DEVICE
摘要
申请公布号 US5189303(A) 申请公布日期 1993.02.23
申请号 US19920838926 申请日期 1992.02.21
申请人 NISSIN ELECTRIC CO., LTD. 发明人 TANJYO, MASAYASU;NAKAZATO, HIROSHI
分类号 H01J27/02;H01J37/08 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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