| 发明名称 |
PURIFICATION OF SEMICONDUCTOR MATERIAL AND PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0543394(A) |
申请公布日期 |
1993.02.23 |
| 申请号 |
JP19910216202 |
申请日期 |
1991.08.01 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NOGUCHI SHIGERU;SANO KEIICHI;IWATA HIROSHI |
| 分类号 |
C30B29/06;H01L21/208;H01L31/04 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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