发明名称 INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0545160(A) 申请公布日期 1993.02.23
申请号 JP19910232278 申请日期 1991.08.20
申请人 OMI TADAHIRO 发明人 OMI TADAHIRO;AOYAMA SHINTARO
分类号 G01B21/30;G01Q30/08;G01Q30/12;G01Q30/20;G01Q60/24;H01J37/28 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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