发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH0541450(A) 申请公布日期 1993.02.19
申请号 JP19910221082 申请日期 1991.08.06
申请人 SONY CORP 发明人 TAKAGI MITSUHARU
分类号 H01L21/02;H01L21/301;H01L21/78 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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