发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0541447(A) 申请公布日期 1993.02.19
申请号 JP19910035961 申请日期 1991.03.01
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 ISHIGURO HIROSHI
分类号 H01L21/762;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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