发明名称 VACUUM DIFFERENTIAL PRESSURE GENERATOR
摘要
申请公布号 JPH0539572(A) 申请公布日期 1993.02.19
申请号 JP19910219187 申请日期 1991.08.05
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 YOSHIDA MASUJIRO;SATO HIROYUKI
分类号 C23C14/56;B01J3/03 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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