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发明名称 GRATING INTERFERENCE TYPE DISPLACEMENT DETECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0540048(A) 申请公布日期 1993.02.19
申请号 JP19910221080 申请日期 1991.08.06
申请人 MITSUTOYO CORP 发明人 TOMITANI MASAKI;SATOU SOUICHI;ITABASHI TATSUO
分类号 G01D5/38 主分类号 G01D5/38
代理机构 代理人
主权项
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