发明名称 MANUFACTURING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0541371(A) 申请公布日期 1993.02.19
申请号 JP19910195642 申请日期 1991.08.06
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 AOYANAGI NOBUAKI
分类号 H01L21/306;B24B49/16;C23F1/02;H01L21/68 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址