发明名称 INTERFERENCE FRINGE INSPECTING DEVICE AND INTERFERENCE FRINGE TURNING ON/OFF METHOD
摘要
申请公布号 JPH0540023(A) 申请公布日期 1993.02.19
申请号 JP19910195405 申请日期 1991.08.05
申请人 SANKYO SEIKI MFG CO LTD 发明人 HIGASHIURA KAZUO
分类号 G01B9/02;G01B11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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