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发明名称 PROJECTION ALIGNER OF FINE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH0541346(A) 申请公布日期 1993.02.19
申请号 JP19910218099 申请日期 1991.08.05
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KOMATSU KAZUHIKO;TAMECHIKA EMI;MATSUO SEITARO;TAKEUCHI YOSHINOBU;HARADA KATSUYUKI;MIMURA YOSHIAKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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