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经营范围
发明名称
DEVICE FOR INSPECTING GAS LEAKAGE
摘要
申请公布号
JPH0540071(A)
申请公布日期
1993.02.19
申请号
JP19910349612
申请日期
1991.12.06
申请人
ULVAC JAPAN LTD
发明人
OCHIAI EIJIRO;TAKAHASHI KENICHI
分类号
G01F1/00;G01F13/00;G01M3/04;G01M3/20
主分类号
G01F1/00
代理机构
代理人
主权项
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