| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE BY MASTER SLICE SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0541503(A) |
申请公布日期 |
1993.02.19 |
| 申请号 |
JP19910149073 |
申请日期 |
1991.06.21 |
| 申请人 |
NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD |
发明人 |
KATO NORIO |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/118 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
