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发明名称 MANUFACTURE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0541434(A) 申请公布日期 1993.02.19
申请号 JP19910196247 申请日期 1991.08.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 USUI SHOJI;MATSUI AYAKO
分类号 H01L21/66;H01L21/84 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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