| 发明名称 |
OBJECTIVE COLLIMETOR FOR CHARGED PARTICLE BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0540200(A) |
申请公布日期 |
1993.02.19 |
| 申请号 |
JP19910199428 |
申请日期 |
1991.08.08 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
FUKUYAMA HIROBUMI;YAMADA KANEO;INOUE KENICHI;ISHIBASHI KIYOTAKA |
| 分类号 |
G21K1/02;H01J37/09;H01J37/317 |
主分类号 |
G21K1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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