发明名称 PHOTOMASKE ZUR HERSTELLUNG VON OPTISCHEN AUFZEICHNUNGSPLATTEN, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DER PHOTOMASKE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DER OPTISCHEN AUFZEICHNUNGSPLATTE.
摘要
申请公布号 DE3781444(T2) 申请公布日期 1993.02.18
申请号 DE19873781444T 申请日期 1987.04.09
申请人 SHARP K.K., OSAKA, JP 发明人 KENJI, OHTA, KITAKATSURAGI-GUN NARA-KEN, JP;AKIRA, TAKAHASHI;TETSUYA, INUI, NARA-SHI NARA-KEN, JP;JUNJI, HIROKANE, TENRI-SHI NARA-KEN, JP;HIROYUKI, KATAYAMA, IKOMA-SHI NARA-KEN, JP
分类号 G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26 主分类号 G11B7/26
代理机构 代理人
主权项
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