发明名称 EINRICHTUNG ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE4127317(A1) 申请公布日期 1993.02.18
申请号 DE19914127317 申请日期 1991.08.17
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 FRITSCHE, WOLF-ECKART, 8752 KLEINOSTHEIM, DE
分类号 C23C14/34;C23C14/54;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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