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发明名称
EINRICHTUNG ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号
DE4127317(A1)
申请公布日期
1993.02.18
申请号
DE19914127317
申请日期
1991.08.17
申请人
LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE
发明人
FRITSCHE, WOLF-ECKART, 8752 KLEINOSTHEIM, DE
分类号
C23C14/34;C23C14/54;H01J37/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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