一种惯性驱动式扫描隧道显微镜

摘要

本实用新型涉及一种扫描显微技术领域。包括微机、控制装置，以及一个头部，头部有扫描装置和样品台，样品台后侧有套钩，与驱动装置的滑块上的推杆的弯钩相对应，滑块置放在和压电陶瓷管相粘接的底板上，通过电压陶瓷管的变形带动滑块作惯性移动，从而再推动样品台进、退，通过驱动装置的独立来达到提高扫描稳定性和重复性的目的。这种设计结构简单，稳定性和重复性好，不需作精密加工，有良好的实用价值和经济效益，并适合于纳米科学技术的研究和高精密度产品的加工。

主权项

1、一种惯性驱动式扫描隧道显微镜由头部、控制装置、微机等组成，其特点在于它的头部设有一分离于样品台的独立的用于针尖一样品趋近的驱动装置，驱动装置由一极化方向经向向外的压电陶瓷管、一个底板、一个滑块、一根推杆等组成，压电陶瓷管的内壁镀满银层，外壁沿轴面两侧各镀银层，且两侧银层互不接壤，压电陶瓷管的上端与底板紧密粘接，底板上两侧设有护栏，护栏的间距为滑块的宽度，滑块放置其中，滑块的下端面装有三只滚珠，滑块的前面设有一推杆，推杆的头端为一弯钩；头部中样品台的后侧面装有与推杆的弯钩相应的套钩，样品台下端面装有三只滚珠，样品台下置的底板上两侧设有护栏，护栏的间距为样品台的宽度。