| 摘要 |
Ein Gassensor (2) mit halbleitendem Galliumoxid, mit einem elektrisch nichtleitenden Trägerkörper (1), auf den Galliumoxid aufgebracht ist, mit einer Kontaktelektroden-Anordnung (3) zum Messen der elektrischen Leitfähigkeit des Galliumoxids, einer Heizanordnung zum Heizen des Gassensors (2) bei einer vorbestimmten Betriebstemperatur, einer Schutzhülle, die den Gassensor vor äußeren mechanischen Einflüssen schützt, und einem Befestigungssockel, wobei das Galliumoxid als eine gassensitive ß-Ga2O3-Dünnschicht ausgebildet ist, wobei die Kontaktelektroden-Anordnung (3) mit einer katalytisch deaktivierenden Schicht vollständig bedeckt ist und wobei die Kontaktelektroden vorzugsweise in interdigitaler Anordnung flächig verteilt angeordnet sind. Die gassensitive ß-Ga2O3-Dünnschicht ist mit einem temperaturstabilen, fein dispergierten katalytisch aktiven Material versehen ist, das in seiner Wirkung bei den betreffenden herrschenden Umgebungsbedingungen stabil ist. <IMAGE>
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