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发明名称 EXCIMER LASER USING NEGATIVE IONS TO CREATE A GAS DISCHARGE.
摘要
申请公布号 GB2258754(A) 申请公布日期 1993.02.17
申请号 GB19920014438 申请日期 1992.07.07
申请人 * UNITED KINGDOM ATOMIC ENERGY AUTHORITY 发明人 JOHN MICHAEL * GREEN;MICHAEL ROBERT * OSBORNE;RICHARD JOHN * WINFIELD;ARTHUR FREDERICK DAVID SYLVESTER * TAYLOR
分类号 H01S3/225 主分类号 H01S3/225
代理机构 代理人
主权项
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