| 发明名称 |
Calibration of Ultra High Purity Gas Analysis |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA2076174(A1) |
申请公布日期 |
1993.02.17 |
| 申请号 |
CA19922076174 |
申请日期 |
1992.08.14 |
| 申请人 |
PRAXAIR TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
LEGGERT, GREGORY H.;SONRICKER, MICHAEL H. |
| 分类号 |
B01F3/02;G01N33/00;(IPC1-7):G12B13/00;H01J49/02 |
主分类号 |
B01F3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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