发明名称 APPARATUS FOR PASSAGE OF A BEAM THROUGH A WALL SEPARATING TECHNOLOGICAL MEDIUM FROM OUTSIDE ATMOSPHERE
摘要
申请公布号 CZ9102360(A3) 申请公布日期 1993.02.17
申请号 CS19910002360 申请日期 1991.07.29
申请人 FYZIKALNI USTAV CSAV 发明人 MATOUS JAROMIR ING.
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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