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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING FUNCTIONAL THIN FILM
摘要
申请公布号 US5186977(A) 申请公布日期 1993.02.16
申请号 US19910688136 申请日期 1991.04.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 MAEZAWA, YOSHIHARU;NOUCHI, NORIMOTO
分类号 C23C14/00;C23C14/24;C23C14/56;G11B5/85 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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