发明名称
摘要
申请公布号 JPH0511656(B2) 申请公布日期 1993.02.16
申请号 JP19870092156 申请日期 1987.04.16
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 TOOMASU NERUSON JAKUSON;ARAN UIRISU KURAINSEISAA;JERII MATSUKUFUAASON UTSUDOORU
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/66;H01L29/778;H01L39/22 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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