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发明名称 METHOD OF MAKING A CANTILEVER STYLUS FOR USE IN AN ATOMIC FORCE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 US5186789(A) 申请公布日期 1993.02.16
申请号 US19910799993 申请日期 1991.11.29
申请人 AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY;MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 TSUDA, NOBUHIRO;YAMADA, HIROFUMI;KADO, HIROYUKI;TOHDA, TAKAO
分类号 G01B21/30;B44C1/22;B81C1/00;C03C15/00;C23F1/00;G01B7/34;G01Q60/38;G01Q70/14;H01J37/28;H01L21/306 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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