发明名称 |
METODO E DISPOSITIVO PER LA DEPOSIZIONE TRAMITE SPRUZZAMENTO CATODICO DI FILMS SOTTILI SUPERCONDUTTORI DI NIOBIO SU CAVITA' RISONANTI A QUARTO D'ONDA IN RAME PER L'ACCELLERAZIONE DI IONI PESANTI. |
摘要 |
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申请公布号 |
ITRM910616(A1) |
申请公布日期 |
1993.02.15 |
申请号 |
IT1991RM00616 |
申请日期 |
1991.08.14 |
申请人 |
ISTITUTO NAZIONALE DI FISICA NUCLEA RE |
发明人 |
PALMIERI VINCENZO;PRECISO RENATO;RUZINOV VLADIMIR L. |
分类号 |
C23C;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/38;H01B;H01L39/24;H05H7/20 |
主分类号 |
C23C |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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