发明名称 METODO E DISPOSITIVO PER LA DEPOSIZIONE TRAMITE SPRUZZAMENTO CATODICO DI FILMS SOTTILI SUPERCONDUTTORI DI NIOBIO SU CAVITA' RISONANTI A QUARTO D'ONDA IN RAME PER L'ACCELLERAZIONE DI IONI PESANTI.
摘要
申请公布号 ITRM910616(A1) 申请公布日期 1993.02.15
申请号 IT1991RM00616 申请日期 1991.08.14
申请人 ISTITUTO NAZIONALE DI FISICA NUCLEA RE 发明人 PALMIERI VINCENZO;PRECISO RENATO;RUZINOV VLADIMIR L.
分类号 C23C;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/38;H01B;H01L39/24;H05H7/20 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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