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发明名称 WERKSTUECKTRAEGER FUER EIN SCHEIBENFOERMIGES WERKSTUECK SOWIE VAKUUMPROZESSKAMMER.
摘要
申请公布号 AT85658(T) 申请公布日期 1993.02.15
申请号 AT19900108364T 申请日期 1990.05.03
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WAGNER, RUDOLF;HIRSCHER, HANS, DR.
分类号 C23C16/48;C30B25/10;C30B25/14;(IPC1-7):C30B25/10 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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