| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0536673(A) |
申请公布日期 |
1993.02.12 |
| 申请号 |
JP19910192292 |
申请日期 |
1991.07.31 |
| 申请人 |
NIPPONDENSO CO LTD |
发明人 |
NIWA KATSUHIDE;KONDO KENJI;KOMURA ATSUSHI;TAMURA MUNEO |
| 分类号 |
C30B25/14;H01L21/31;H01L21/316 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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