发明名称 ION BEAM EXTRACTING ELECTRODE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0536358(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910048666 申请日期 1991.02.22
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 INAI YUTAKA;MATSUDA YASUHIRO;INAMI HIROSHI;FUJIWARA SHUICHI;YAMASHITA TAKATOSHI;MATSUNAGA KOJI
分类号 G21B1/11;G21B1/00;H01J27/02;H01J37/08;H05H7/08 主分类号 G21B1/11
代理机构 代理人
主权项
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