| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE TRANSFER ARM IN SEMICONDUCTOR SUBSTRATE TREATMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0536809(A) |
申请公布日期 |
1993.02.12 |
| 申请号 |
JP19910191511 |
申请日期 |
1991.07.31 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TANIGUCHI TAKAO;SATO HIROSHI |
| 分类号 |
B25J1/00;B65G47/90;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/687 |
主分类号 |
B25J1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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