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发明名称 METHOD FOR MAKING THICKNESS OF SI SINGLE CRYSTAL THIN FILM UNIFORM
摘要
申请公布号 JPH0536955(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910215902 申请日期 1991.07.31
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD;NAGANO DENSHI KOGYO KK 发明人 ABE TAKAO;NAKAZATO YASUAKI;UCHIYAMA ATSUO
分类号 H01L21/306;H01L27/12 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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