发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0536849(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910192018 申请日期 1991.07.31
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 ORIHARA JUNICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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