发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0536954(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910214244 申请日期 1991.08.01
申请人 CANON INC 发明人 SAKAGUCHI KIYOBUMI;YONEHARA TAKAO
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/331;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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