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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0536677(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910188911 申请日期 1991.07.29
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 YOSHIKI TAMOTSU
分类号 H01L21/3205;H01L21/316;H01L23/52;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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