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发明名称 CONVEYANCE APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0536799(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910216336 申请日期 1991.08.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SENBA SHINJI
分类号 H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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