发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0536637(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910193030 申请日期 1991.08.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TOYODA MASATO;ODERA HIROKI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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