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发明名称
AUTOMATIC ARRANGEMENT WIRING DEVICE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH0536831(A)
申请公布日期
1993.02.12
申请号
JP19910215852
申请日期
1991.08.01
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KURITANI MASAKO
分类号
H01L21/82;G06F17/50
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
地址
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