发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0536823(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910193035 申请日期 1991.08.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUJII NOBUO;MIZUKAWA YOSUKE;MIHASHI YASUO
分类号 H01L21/761;H01L21/76;H01L21/8222;H01L27/06 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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