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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0536800(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910256720 申请日期 1991.10.03
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 ITO SEIGO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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